直径:2~12英寸
测试片是半导体产业中进行设备性能测试、工艺测试所使用的实验片,用来考察各个设备和各段工艺的状态和稳定性。该类片可作为陪片使用,或者作为对电学性能没有要求的正片使用,比如某些MEMS领域或某些材料、物理领域。
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